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【48812】颀中科技获得晶圆外表介电层的制备办法等专利进步出产功率

来源:安博电竞注册中国官网    发布时间:2024-07-29 11:41:09

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  金融界 2024 年 7 月 16 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,颀中科技(姑苏)有限公司,合肥颀中科技股份有限公司获得一项名为“晶圆外表介电层的制备办法、晶圆结构及凸块的成型办法“,授权公告号 CN113471061B,请求日期为 2021 年 6 月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种晶圆外表介电层的制备办法、晶圆结构及凸块的成型办法,所述制备办法有如下过程:供给晶圆;在晶圆的上标明发生对位符号,其间,对位符号为厚度不低于 0.3μm 的金属块;在构成对位符号后的晶圆的上标明发生一介电层。与现存技能比较,本请求优化了晶圆介电层的制备工艺,在晶圆外表成型出介电层之前,预先在晶圆外表制备出对位符号。因为对位符号的厚度达 0.3μm 以上,具有比较好的杰出可见性,其在晶圆的后续工艺中可以很好的被辨认并被用于定位,有利于后续工艺的打开;有很大成效避免了在介电层制备阶段,因对位符号不行见而需返工的问题,保证了制程工艺的连续性,进步了出产功率,也节省了返工的人力物力本钱。