依据芯思维和芯思维研究院的调研，截止2023年12月20日，我国内地12英寸、8英寸和6英寸及以下的硅晶圆制作线条（不含纯MEMS生产线、化合物半导体生产线和光电子生产线）。

  我国内地共建有12英寸晶圆厂45座，规划产能算计238万片，万片），实践产值约在125-140万片之间；在建24座，规划产能算计125万片（其间外资在建18万片）；规划兴修或改造13座，规划产能算计57万片（其间外资规划5万片）；悉数产能算计420万片（其间外资产能77万片）。

  我国内地共建有8英寸晶圆厂34座，规划产能算计168万片，现已装机产能152万片（其间外资装机35万片），实践产值约在140万片左右；在建5座，规划产能算计20万片；规划兴修或改造11座，规划产能算计32万片；悉数产能算计220万片。

  我国内地共建有6英寸晶圆厂48座，规划产能算计264万片，现已装机产能206万片，实践产值约在180万片左右；在建4座，规划产能算计21万片；规划兴修或改造6座，规划产能算计34万片；悉数产能算计319万片。

  我国内地共建有5/4/3英寸晶圆厂63座，规划产能算计730万片(按4英寸核算)。

  现在，我国内地建造12英寸晶圆制作生产线英寸装机产能散布按城市排名：无锡、北京、武汉、合肥、西安、上海位居前六位。

  我国内地建造8英寸晶圆制作生产线英寸装机产能散布按城市排名：上海、天津、无锡、绍兴、姑苏、杭州位居前六位。

  本乡12英寸晶圆制作装机产能排名前五的公司（不考虑工艺水平，不包括存储产能）：中芯世界、华虹集团、晶合集成、士兰微、粤芯。