金融界2024年9月28日音讯，国家知识产权局信息数据显现，江苏亚电科技股份有限公司获得一项名为“种习惯多尺度晶圆清洗的晶圆支撑盘”的专利，授权公告号CN 221766742 U，请求日期为2024年1月。

  专利摘要显现，本请求触及一种习惯多尺度晶圆清洗的晶圆支撑盘，由盘体、榜首支撑杆和第二支撑杆、榜首卡紧柱和第二卡紧柱组成；榜首支撑杆和第二支撑杆别离对晶圆起支撑效果，然后再别离卡入榜首卡紧柱和第二卡紧柱的洼陷部内起到终究固定效果。因为所述榜首卡紧柱到盘体中心的间隔大于榜首支撑杆到盘体中心的间隔且小于所述第二支撑杆到盘体中心的间隔，所述第二卡紧柱到盘体中心的间隔大于第二支撑杆到盘体中心的间隔，且设置不一样的高度，使得晶圆支撑盘能够匹配两种不一样的尺度的晶圆。

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